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    涡旋干式真空泵的特点

    发布时间:2018-07-11 16:45:26 来源:admin
    随着半导体、生物制药、新材料制备等行业的飞速发展,传统的真空获得技术与设备已经不能满足实际工况的要求,面临越来越多的行业对清洁真空的需求,真空获得设备发展出可以提供清洁无油真空环境的干式真空泵。
     
    所谓干式真空泵一般指能在大气压到10-2Pa及以下压力范围内工作、在抽气流道中不使用任何油类和液体、且能连续直接向大气排气的真空泵。干式真空泵适用于清洁无油真空获得,工艺过程中存在腐蚀性气体、有毒气体、含有颗粒等影响泵油工作性能的工况。
     
    干式真空泵可以分为多级罗茨式、多级爪式、螺杆式、涡旋式等,同时也发展出罗茨+爪式组合式等组合式干泵机组。作为容积式流体机械,内部气体的流动过程是干式真空泵的工作特性,决定了真空泵的性能特征。
     
    涡旋干式真空泵是在涡旋式压缩机基础上演化而来的一种新式真空干泵,是一种容积式真空泵。涡旋干式真空泵具有以下特点:
     
    (1)清洁无油,是中低真空获得洁净真空的优秀泵种,同时也是分子泵、低温泵等超高真空系统获得洁净真空的理想前级配泵;
     
    (2)体积小、振动小、噪声小、结构简单、零部件少;
     
    (3)间隙小、泄漏少,具有较高的压缩比;
     
    (4)能在大气压下启动,工作压力范围宽,能在较宽的压力范围内有稳定的抽速;
     
    (5)由于涡旋干泵压缩容积的变化是连续的,相邻各封闭空间内压差较小,因而驱动扭矩变化小,功率变化小;
     
    (6)泵腔内无接触、无磨损:
     
    (7)可靠性高。
     
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