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    真空泵在电子半导体行业的应用

    发布时间:2018-06-12 10:23:30 来源:admin
    也许,你在想真空泵厂家会如何演说这一个应用。其实,很简单啊,根据行业进行追溯。首先,我们知道:电子半导体行业主要包括电子技术、半导体、多晶硅/单晶硅、太阳能和光电显示领域。
     
    根据行业追溯后,整理电子半导体行业所需应用主要分为三大类:生产用真空(中高真空);清扫真空(粗真空);工艺真空(粗真空)。不同类型的领域需要不同的真空泵。
     
    生产用真空主要通过高真空使工作空间空气减少,保持工作空间的洁净,主要使用的真空泵类型包括干泵(干式螺杆真空泵、爪式泵)和分子泵及其机组。生产用真空设备在数量上较大,单机功率较小。
     
    清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送,此类应用主要采用水环泵和多级离心风机,因为真空度低所以更多的是采用多级离心风机,真空源是其系统的一部分。
     
    工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持,螺杆泵、爪式泵等干泵以及水环泵、旋片泵、微油螺杆泵都是工艺真空中常见的真空设备。
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